e-mail: info@strojmaterialyoptom.ru

141554, Москва, МО, Солнечногорский район, д. Кривцово, д. 3а, офис 22.

Тел. +7 (499) 703-32-27, +7 (929) 573-46-09

420083, Казань, ул. Натана Рахлина, д. 10/1, офис 175.

Тел. +7 (843) 204-08-78, +7 (937) 610-15-36

Фоторезист позитивный ФП-383

Гарантийный срок хранения — 6 месяцев.

Применяется для выполнения фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов и схем, металлизированных шаблонов, печатных плат. Представляет собой раствор светочувствительного о-нафтохинондиазида и фенолоформальдегидных смол в диоксане.

Наименование параметра Значение
Внешний вид прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка
Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более 2
Массовая доля воды, %, не более 0,6
Массовая доля сухого остатка, %, в пределах 19,0-22,0
Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах 11,5-15,0
Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах 6,0-6,5
Внешний вид пленки фоторезиста прозрачная, блестящая без разрывов
Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм 2,0±-0,3
Толщина пленки, мкм 1,1±-0,1
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее 180
Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм2, не более 0,10